硅中硼检测哪里可以做?中析研究所实验室提供硅中硼检测服务,出具的硅中硼检测报告支持扫码查询真伪。服务领域:半导体工业、玻璃工业、陶瓷工业、核工业、冶金工业、化学合成、电池材料和防腐涂料。服务项目:硼含量检测、杂质检测、结晶质量检测、电学性能检测等。实验室工程师严格按照相关标准进行实验,并且提供非标实验定制服务。
检测周期:7-15个工作日,参考周期
检测样品
多晶硅,单晶硅,多晶硅片,单晶硅片,硅膜
检测项目
硼含量检测:确定硅样品中硼的含量。这可以通过化学分析方法,如原子吸收光谱(AAS)或电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)来进行。
杂质检测:除了硼之外,还需要检测硅样品中的其他杂质元素,如金属杂质(铁、铜、铝等)和其他非金属杂质(氧、碳等)。这可以通过多种分析方法进行,如质谱仪、离子色谱仪等。
结晶质量检测:对于硅中硼的晶体样品,可以进行结晶质量的检测。这包括晶体的纯度、晶格结构和晶体缺陷等方面的分析,可以使用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)等技术进行。
电学性能检测:对于硼掺杂的硅材料,可以进行电学性能的检测,如电导率、载流子浓度和迁移率等。这可以通过电学测试设备,如霍尔效应测量仪和四探针测量仪等进行。
检测方法
原子吸收光谱(AAS):这是一种常用的化学分析方法,可以测定硅样品中的硼含量。样品通常通过酸溶解后,使用原子吸收光谱仪测量硼的吸收特征线来确定硼的浓度。
电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES):这是一种高灵敏度的光谱分析方法,可以用于测定硅样品中硼的含量。样品通常需要经过酸溶解和稀释后,使用ICP-OES仪器测量硼的发射光谱来确定其浓度。
质谱法:质谱法可以用于硅中硼的定量分析。样品通常需要经过溶解和适当的前处理后,使用质谱仪测量硼的质谱信号来确定其含量。
离子色谱法:离子色谱法可以用于测定硅样品中硼的含量。样品通常需要经过溶解和稀释后,使用离子色谱仪分离和测定硼离子。
核磁共振:核磁共振技术可以用于硅中硼的定量分析。该方法基于硼原子核的磁共振信号来确定硼的含量。
检测仪器
原子吸收光谱仪(AAS),电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES),质谱仪,离子色谱仪,X射线衍射仪(XRD),扫描电子显微镜(SEM),霍尔效应测量仪、四探针测量仪
检测标准
GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
GB/T 20176-2006表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
GB/T 32495-2016表面化学分析二次离子质谱硅中砷的深度剖析方法
GB/T 24580-2009重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
GB/T 13389-2014掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
GB/T 29851-2013光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
GB/T 32281-2015太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
GB/T 29056-2012硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 34843-2017 3.3硼硅玻璃 性能

