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硅晶片检测

发布时间:2025-03-11 09:34:20- 点击数: - 关键词:硅晶片检测

实验室拥有众多大型仪器及各类分析检测设备,研究所长期与各大企业、高校和科研院所保持合作伙伴关系,始终以科学研究为首任,以客户为中心,不断提高自身综合检测能力和水平,致力于成为全国科学材料研发领域服务平台。

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  哪里可以检测硅晶片?中析研究所检测中心提供硅晶片检测服务,出具的硅晶片检测报告支持扫码查询真伪。服务项目:表面平整度、接触角、厚度、晶体结构、电性能、光学性能、热性能、化学成分、绝缘性能和表面粗糙度等。实验室工程师严格按照相关标准进行实验,并且提供非标实验定制服务。

  检测周期:7-15个工作日,参考周期

  检测范围

  单晶硅片、多晶硅片、氧化硅片、硅氮化硅片、硅碳化硅片、磷化硅片、硅基太阳能电池片。

  检测项目

  表面平整度、接触角、厚度、晶体结构、电性能、光学性能、热性能、化学成分、绝缘性能和表面粗糙度。

  检测方法

  表面形貌观测:扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)

  晶体结构分析:X射线衍射(XRD)

  厚度测量:椭偏仪、白光干涉仪

  电性能测试:电阻率测试、霍尔效应测试

  光学性能测试:反射率测试、透过率测试

  热性能测试:热导率测试、热膨胀系数测试

  化学成分分析:X射线荧光光谱仪(XRF)、质谱仪

  绝缘性能检测:介电常数测试、击穿强度测试

  表面粗糙度测量:表面粗糙度仪、原子力显微镜(AFM)等。

  检测仪器

  SEM、AFM、XRD、椭偏仪、白光干涉仪、电阻率测试仪、霍尔效应测试仪、反射率测试仪、透过率测试仪、热导率测试仪、介电常数测试仪、表面粗糙度仪、XRF和质谱仪等。


  检测标准

  CEI EN 50513-2010 太阳能晶片。太阳能电池制造用晶体硅晶片的数据表和产品信息

  GB/T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法

  GB/T 26066-2010 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法

  JIS H0611-1994 硅晶片厚度、厚度不均匀度及其翘曲度的测定方法

  JIS K0148-2005 表面化学分析.用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面主要污染物

  SEMI PV25-1011-2011 测量氧,碳,试验方法在太阳能硅晶片和二次离子质谱法原料硼和磷

  T/CASAS 013-2021 碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法

  T/CASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

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