哪里可以检测硅晶片?中析研究所检测中心提供硅晶片检测服务,出具的硅晶片检测报告支持扫码查询真伪。服务项目:表面平整度、接触角、厚度、晶体结构、电性能、光学性能、热性能、化学成分、绝缘性能和表面粗糙度等。实验室工程师严格按照相关标准进行实验,并且提供非标实验定制服务。
检测周期:7-15个工作日,参考周期
检测范围
单晶硅片、多晶硅片、氧化硅片、硅氮化硅片、硅碳化硅片、磷化硅片、硅基太阳能电池片。
检测项目
表面平整度、接触角、厚度、晶体结构、电性能、光学性能、热性能、化学成分、绝缘性能和表面粗糙度。
检测方法
表面形貌观测:扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)
晶体结构分析:X射线衍射(XRD)
厚度测量:椭偏仪、白光干涉仪
电性能测试:电阻率测试、霍尔效应测试
光学性能测试:反射率测试、透过率测试
热性能测试:热导率测试、热膨胀系数测试
化学成分分析:X射线荧光光谱仪(XRF)、质谱仪
绝缘性能检测:介电常数测试、击穿强度测试
表面粗糙度测量:表面粗糙度仪、原子力显微镜(AFM)等。
检测仪器
SEM、AFM、XRD、椭偏仪、白光干涉仪、电阻率测试仪、霍尔效应测试仪、反射率测试仪、透过率测试仪、热导率测试仪、介电常数测试仪、表面粗糙度仪、XRF和质谱仪等。
检测标准
CEI EN 50513-2010 太阳能晶片。太阳能电池制造用晶体硅晶片的数据表和产品信息
GB/T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法
GB/T 26066-2010 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法
JIS H0611-1994 硅晶片厚度、厚度不均匀度及其翘曲度的测定方法
JIS K0148-2005 表面化学分析.用总反射X-射线荧光(TXRF)测定法测定硅晶片的表面主要污染物
SEMI PV25-1011-2011 测量氧,碳,试验方法在太阳能硅晶片和二次离子质谱法原料硼和磷
T/CASAS 013-2021 碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法
T/CASAS 032-2023 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

